| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/678299376 |
| Дата корректировки | 16:35:20 29 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.01.44005.8318 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Кудряшов, Д. А. | |
|
Наноразмерные пленки Cu[2]O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств Электронный ресурс |
|
| Cu[2]O nanosized films: rf-magnetron deposition, structural and optical properties | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu[2]O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu[2]O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu[2]O. |
| Ключевые слова | наноразмерные пленки |
|
ВЧ-магнетронное распыление магнетронное распыление кремниевые подложки оксид меди металлооксидные полупроводники полупроводники оптическое пропускание рентгеновская дифракция рамановское рассеяние |
|
|
Гудовских, А. С. Бабичев, А. В. Филимонов, А. В. Можаров, А. М. Агекян, В. Ф. Борисов, Е. В. Серов, А. Ю. Философов, Н. Г. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 1. - С. 111-115 |
|
| Имя макрообъекта | Кудряшов_наноразмерные |
| Тип документа | b |
