| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Наноразмерные пленки Cu[2]O: формирование методом ВЧ-магнетронного распыления, исследование структурных и оптических свойств Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Методом магнетронного распыления сформированы наноразмерные слои оксида меди (I) на стеклянных и кремниевых подложках при комнатной температуре в бескислородной среде и проведены исследования их структурных и оптических свойств. Показано, что на кремниевой подложке происходит формирование оксида меди с меньшей разупорядоченностью, нежели на стекле, это подтверждается большей интенсивностью и меньшей полушириной рефлексов дифрактометрической кривой. Наибольшая интенсивность рефлексов дифрактометрической кривой наблюдается для пленок Cu[2]O, выращенных на кремнии при мощности магнетрона 150Вт. Спектральная зависимость коэффициентов поглощения и пропускания этих же пленок Cu[2]O согласуется с известными зависимостями для объемных кристаллов. В рамановских спектрах пленок идентифицированы фононы, соответствующие кристаллической решетке кубических кристаллов Cu[2]O. |
| Ключевые слова | наноразмерные пленки |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 1. - С. 111-115 |
|
| Имя макрообъекта | Кудряшов_наноразмерные |
