| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/677696841 |
| Дата корректировки | 17:36:32 22 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.12.50230.9506 | |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Маскаева, Л. Н. | |
|
Влияние природы подложки на состав пленок CdPbS и механические напряжения на интерфейсе ”пленка-подложка“ Электронный ресурс |
|
| Influence of the substrate nature on the composition CdPbS films and mechanical stresses on the ”film-substrat“ interface | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 19 назв. |
| Аннотация | Исследована роль подложки различной природы на фазовый состав, морфологию и механические напряжения на интерфейсе "пленка-подложка" при химическом осаждении слоев CdPbS на кремнии (111), ситалле, плавленом кварце, ITO-покрытии, предметном и пористом стеклах. Высказано предположение, что выявленные особенности связаны с различными условиями зарождения и роста пленок. Установлено, что на плавленом кварце формируется однофазная пленка твердого раствора Cd[x]Pb[1-x]S в отличие от остальных субстратов, на которых осаждаются слои, содержащие дополнительно от 2 до 8 мол% рентгеноаморфной фазы CdS. Показано, что увеличение величины механических напряжений сжатия на интерфейсе "пленка- подложка" с -9.32 до -121.79 кН/м{2} в ряду пористое стекло-предметное стекло-ситалл-кремний (111)-плавленый кварц асимбатно значениям температурных коэффициентов расширения этих подложечных материалов. |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
|
тонкие пленки твердые растворы механические напряжения cульфиды |
|
|
Поздин, А. В. Марков, В. Ф. Воронин, В. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 12. - С. 1309-1319 |
|
| Имя макрообъекта | Маскаева_влияние |
| Тип документа | b |
