| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние природы подложки на состав пленок CdPbS и механические напряжения на интерфейсе ”пленка-подложка“ Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследована роль подложки различной природы на фазовый состав, морфологию и механические напряжения на интерфейсе "пленка-подложка" при химическом осаждении слоев CdPbS на кремнии (111), ситалле, плавленом кварце, ITO-покрытии, предметном и пористом стеклах. Высказано предположение, что выявленные особенности связаны с различными условиями зарождения и роста пленок. Установлено, что на плавленом кварце формируется однофазная пленка твердого раствора Cd[x]Pb[1-x]S в отличие от остальных субстратов, на которых осаждаются слои, содержащие дополнительно от 2 до 8 мол% рентгеноаморфной фазы CdS. Показано, что увеличение величины механических напряжений сжатия на интерфейсе "пленка- подложка" с -9.32 до -121.79 кН/м{2} в ряду пористое стекло-предметное стекло-ситалл-кремний (111)-плавленый кварц асимбатно значениям температурных коэффициентов расширения этих подложечных материалов. |
| Ключевые слова | химическое осаждение |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 12. - С. 1309-1319 |
|
| Имя макрообъекта | Маскаева_влияние |
