Поиск

Емкостная спектроскопия гетероэпитакиальных AlGaAs/GaAs p-i-n-структур

Авторы: Соболев, М. М. Соболёв, М. М. Солдатенков, Ф. Ю.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/677350049
Дата корректировки 17:01:13 18 июня 2021 г.
10.21883/FTP.2020.10.49945.9419
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Соболев, М. М.
Емкостная спектроскопия гетероэпитакиальных AlGaAs/GaAs p-i-n-структур
Электронный ресурс
Capacitance spectroscopy of heteroepitaxial AlGaAs/GaAs p-i-n structures
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 30 назв.
Аннотация Исследованы температурные зависимости вольт-фарадных характеристик и спектры глубоких уровней плавного высоковольтного Al[x]Ga[1-x]As p{0}-i-n{0}-перехода, изготовленного методом жидкофазной эпитаксии за счет автолегирования фоновыми примесями. Обнаруженные изменения вольт-фарадных характеристик в зависимости от температуры измерения и оптической подсветки продемонстрировали, что в исследуемых AlxGa[1-x]As слоях p{0}-, i-, n{0}-типа содержатся бистабильные DX-центры. В спектрах нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS), измеренных при различных напряжениях смещения V[r] и импульса заполнения V[f], в n{0}-слое выявлен положительный DLTS-пик с энергией термической активации E[t] = 280 мэВ и сечением захвата электронов, что является необычным для ловушки основных носителей. Этот пик связывается с отрицательно заряженным состоянием донорной примеси Se/Te, которое является бистабильным DX-центром с отрицательной энергией корреляции U.
Служебное примечание Соболёв, М. М.
Ключевые слова емкостная спектроскопия
DX-центры
жидкофазная эпитаксия
вольт-фарадные характеристики
арсенид галлия
арсенид алюминия-галлия
Солдатенков, Ф. Ю.
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 10. - С. 1072-1078
Имя макрообъекта Соболев_емкостная
Тип документа b