| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/676476717 |
| Дата корректировки | 14:19:49 8 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.09.49820.12 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Юнин, П. А. | |
|
Модификация соотношения sp{2}/sp{3}-гибридного углерода в PECVD пленках DLC Электронный ресурс |
|
| Modification of the sp{2}/sp{3}-hybridized carbon ratio in PECVD DLC films | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
| Аннотация | Известно, что слои алмазоподобного углерода DLC (diamond-like carbon) состоят из фракций углерода как с "графитовой" sp{2}-гибридизацией электронных орбиталей, так и с "алмазной" sp{3}-гибридизацией. Количественное соотношение sp{2}- и sp{3}-фракций сильно влияет на структурные, морфологические, прочностные, оптические и электрофизические свойства пленок. В данной работе исследуется возможность управления долями sp{2}- и sp{3}-гибридного углерода в пленках DLC, полученных методом плазмохимического осаждения на подложках монокристаллического кремния и алмаза. Демонстрируются способы варьирования доли sp{3}-фракции как непосредственно in situ при получении пленки путем изменения мощности емкостного и индуктивно-связанного разрядов, так и ex situ с помощью термического отжига и электрического поля. |
| Служебное примечание | Королёв, С. А. |
| Краёв, С. А. | |
| Ключевые слова | алмазоподобные углероды |
|
плазмохимическое осаждение монокристалические алмазы термический отжиг алмазная микроэлектроника полупроводниковые алмазы |
|
|
Охапкин, А. И. Дроздов, М. Н. Королев, С. А. Архипова, Е. А. Краев, С. А. Дроздов, Ю. Н. Шашкин, В. И. Радищев, Д. Б. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 9. - С. 855-858 |
|
| Имя макрообъекта | Юнин_модификация |
| Тип документа | b |
