Индекс УДК | 539.21 |
Эволюция ансамбля микропор в структуре SiC/Si в процессе роста методом замещения атомов Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | карбид кремния |
Другие авторы | Гращенко, А. С. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2019 |
Прочая информация | Т. 61, вып. 3. - С. 433-440 |
Имя макрообъекта | Редьков_эволюция |