| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Расчет доз аморфизации кремния при облучении легкими ионами средних энергий Электронный ресурс |
|
| Аннотация | На основе ранее предложенной диффузионно-коагуляционной модели дефектообразования при ионном облучении кремния путем численного решения соответствующих кинетических уравнений рассчитаны дозы аморфизации (Ф[am]) для ионов средних энергий с массой M[1] <= 31 а.е.м. Предполагается, что аморфизация на данной глубине происходит при дозе, при которой достигается некоторая пороговая величина суммарной концентрации вакансий и дивакансий (Cam). Варьируемыми параметрами при расчетах являлись: энергия ионов, плотность ионного тока, температура, а также пороговая энергия смещения атома (Ed) и Cam. Определены границы примененимости диффузионно-коагуляционной модели. Сравнение полученных результатов расчетов, проведенных в этих границах, с опубликованными экспериментальными данными показало (с учетом вариации экспериментальных данных и определенной свободы выбора параметров Ed и Cam) удовлетворительное соответствие расчетных и экспериментальных значений Ф[am]. |
| Ключевые слова | кремний |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 8. - С. 771-777 |
|
| Имя макрообъекта | Окулич_расчет |
