| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/676042474 |
| Дата корректировки | 13:41:33 3 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.06.49383.9359 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Шутаев, В. А. | |
|
Влияние водорода на импеданс структур Pd/оксид/InP Электронный ресурс |
|
| Hydrogen Influence on the Impedance of Pd/oxide/InP | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 24 назв. |
| Аннотация | Исследован импеданс и емкостные свойства структур Pd/оксид/InP при 300K в диапазоне частот 10{-1}-10{5} Гц на воздухе и в азотно-водородной газовой среде. Характеристики структур в обеих средах интерпретируются на основе модели параллельной RC-цепочки с последовательным сопротивлением. В присутствии водорода сопротивление структур уменьшается на 3 порядка, а емкость взрастает на 1-3 порядка в зависимости от частоты, что, возможно, связано с образованием положительно заряженных центров в оксиде. На вольт-фарадных характеристиках структур в среде с водородом обнаружен гистерезис, возможно, обусловленный ионной поляризацией центров. Показано, что полный заряд центров, измеренный в единицах электронов, практически совпадает с числом атомов водорода, поглощенных палладием. |
| Ключевые слова | палладий |
|
водород фосфид индия импеданс МОП структура полупроводники диэлектрические слои оксиды полупроводников |
|
|
Гребенщикова, Е. А. Сидоров, В. Г. Компан, М. Е. Яковлев, Ю. П. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 6. - С. 547-551 |
|
| Имя макрообъекта | Шутаев_влияние |
| Тип документа | b |
