| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние водорода на импеданс структур Pd/оксид/InP Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследован импеданс и емкостные свойства структур Pd/оксид/InP при 300K в диапазоне частот 10{-1}-10{5} Гц на воздухе и в азотно-водородной газовой среде. Характеристики структур в обеих средах интерпретируются на основе модели параллельной RC-цепочки с последовательным сопротивлением. В присутствии водорода сопротивление структур уменьшается на 3 порядка, а емкость взрастает на 1-3 порядка в зависимости от частоты, что, возможно, связано с образованием положительно заряженных центров в оксиде. На вольт-фарадных характеристиках структур в среде с водородом обнаружен гистерезис, возможно, обусловленный ионной поляризацией центров. Показано, что полный заряд центров, измеренный в единицах электронов, практически совпадает с числом атомов водорода, поглощенных палладием. |
| Ключевые слова | палладий |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 6. - С. 547-551 |
|
| Имя макрообъекта | Шутаев_влияние |
