| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/676030817 |
| Дата корректировки | 10:28:54 3 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.06.49388.9367 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Калыгина, В. М. | |
|
Солнечно-слепые детекторы УФ-излучения на основе пленок бета-Ga[2]O[3] Электронный ресурс |
|
| Solar-blind UV detectors based on beta-Ga[2]O[3] films | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
| Аннотация | Исследованы структуры резистивного типа на основе пленок оксида галлия. Пленки Ga[2]O[3] получали ВЧ-магнетронным распылением мишени бета-Ga[2]O[3] (99.9999%) на не нагретые сапфировые подложки с предварительно нанесенными платиновыми электродами. Получены данные о структуре и фазовом составе пленок сразу после напыления и после отжига в аргоне при 900°C в течение 30 мин. Измерены темновые и вольт-амперные характеристики при воздействии излучения с лямбда = 254 нм. Показано, что после отжига фототок увеличивается на порядок. Экспериментально подтверждено отсутствие чувствительности исследованных структур к излучению в видимом интервале длин волн (лямбда = 400 нм). |
| Ключевые слова | ультрафиолетовое излучение |
|
пленки оксида галлия оксида галлия термический отжиг темновой ток фототок детекторы |
|
|
Алмаев, А. В. Новиков, В. А. Петрова, Ю. С. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 6. - С. 575-579 |
|
| Имя макрообъекта | Калыгина_солнечно |
| Тип документа | b |
