| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Электронные свойства пленок силицена, подвергнутых нейтронному легированию Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пленки силицена |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 6. - С. 533-541 |
|
| Имя макрообъекта | Галашев_электронные |
