| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma20_to56_no1_ss69_ad1 |
| Дата корректировки | 8:43:04 31 мая 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210525s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma20_to56_no1_ss69_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 546 |
| Индекс ББК | 24.12 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Кострюков, В. Ф. 070 |
|
|
Газочувствительные свойства тонких пленок, полученных методом термооксидирования поверхности монокристаллов InP В. Ф. Кострюков, И. Я. Миттова, С. Али |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 7 рис., 2 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 74-75 (18 назв. ) |
| Аннотация | При использовании композиции PbO + V[2]O[5], вводимой через газовую фазу, на поверхности монокристаллических пластин InP выращены тонкие пленки нанометрового диапазона. Установлено ускоряющее действие используемой композиции из оксидов-хемостимуляторов на процесс термооксидирования InP. Показано наличие у выращенных пленок газочувствительных свойств к аммиаку (концентрация 140 ppm) и угарному газу (95 ppm). Максимальные значения сенсорного сигнала составляют около 1. 2 усл. ед. и соответствуют температурам 200-240°С. |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
газочувствительные свойства монокристаллы полупроводники термооксидирование тонкие пленки фосфид индия |
|
Миттова, И. Я. 070 Али, С. 070 |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 1. - С. 69-75 |
|
RU 36713090 20210525 RCR |
|
|
RU 36713090 20210525 |
|
|
RU AR-MARS 20210525 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210525 |
|
|
https://sciencejournals.ru/list-issues/neorgmat/ https://www.elibrary.ru/item.asp?id=41695081 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2020 56 1 69 1 |
|
| 13607 |
