| Индекс УДК | 546 |
|
Газочувствительные свойства тонких пленок, полученных методом термооксидирования поверхности монокристаллов InP В. Ф. Кострюков, И. Я. Миттова, С. Али |
|
| Аннотация | При использовании композиции PbO + V[2]O[5], вводимой через газовую фазу, на поверхности монокристаллических пластин InP выращены тонкие пленки нанометрового диапазона. Установлено ускоряющее действие используемой композиции из оксидов-хемостимуляторов на процесс термооксидирования InP. Показано наличие у выращенных пленок газочувствительных свойств к аммиаку (концентрация 140 ppm) и угарному газу (95 ppm). Максимальные значения сенсорного сигнала составляют около 1. 2 усл. ед. и соответствуют температурам 200-240°С. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 1. - С. 69-75 |
|
https://sciencejournals.ru/list-issues/neorgmat/ https://www.elibrary.ru/item.asp?id=41695081 |
