| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Профилирование компонент подвижности вблизи гетерограниц тонких пленок кремния Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | тонкие пленки |
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 2. - С. 124-128 |
|
| Имя макрообъекта | Зайцева_профилирование |
