| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/675512468 |
| Дата корректировки | 10:25:07 28 мая 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.01.48778.9245 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Прохоров, Л. Г. | |
|
Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин Электронный ресурс |
|
| Temperature dependence of loss in mechanical resonator fabricated using direct bonding of silicon strips | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 26 назв. |
| Аннотация | Охлаждение устройств, изготовленных из монокристаллического кремния, до температуры 123 K, при которой значение его коэффициента теплового расширения проходит через нуль, позволяет повысить их стабильность и снизить шумы. В диапазоне температур (100-295K) исследованы температурные зависимости потерь (затухания) и изменения резонансной частоты в механическом резонаторе камертонного типа, изготовленном из кремниевых полосок и соединенных методом прямого сращивания. Это позволяет неразрушающим образом контролировать качество соединения, а также выявить особенности поведения и изменения, происходящие на границе раздела с течением времени. |
| Ключевые слова | кремниевые пластины |
|
прямое сращивание механические резонаторы нулевое значение коэффициент линейного теплового расширения сращивание кремниевых пластин монокристаллический кремний |
|
|
Светаев, А. В. Лунин, Б. С. Запотылько, Н. Р. Катков, А. А. Митрофанов, В. П. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 1. - С. 74-78 |
|
| Имя макрообъекта | Прохоров_температурная |
| Тип документа | b |
