Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин
Поиск

Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин

Авторы: Прохоров, Л. Г. Светаев, А. В. Лунин, Б. С. Запотылько, Н. Р. Катков, А. А. Митрофанов, В. П.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин
Электронный ресурс
Ключевые слова кремниевые пластины
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 1. - С. 74-78
Имя макрообъекта Прохоров_температурная