Индекс УДК | 621.315.592 |
Cиловой МДП-транзистор на 4H-SiC с эпитаксиальным заглубленным каналом Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | эпитаксия |
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 1. - С. 79-84 |
|
Имя макрообъекта | Михайлов_силовой |