Индекс УДК | 621.315.592 |
Кристаллическая структура и термоэлектрические свойства тонких слоев MnSi[x] Электронный ресурс |
|
Аннотация | Методом импульсного лазерного осаждения получены тонкие (25 нм) пленки Si[1-x]Mn[x] на Si(100). По данным высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии, пленки представляют собой нанотекстурированный кристалл химически однородного состава. Исследованы температурные зависимости удельного сопротивления и термоэдс в интервале 300-500 K, рассчитана температурная зависимость коэффициента Зеебека и фактора мощности. |
Ключевые слова | импульсное лазерное осаждение |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 11. - С. 1473-1478 |
Имя макрообъекта | Ерофеева_кристаллическая |