| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/674816900 |
| Дата корректировки | 9:15:48 20 мая 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Калыгина, В. М. | |
|
Связь структурно-фазовых изменений в пленках оксида титана с электрическими и фотоэлектрическими характеристиками структур TiO[2]-Si Электронный ресурс |
|
| Connection of structural and phase changes in titanuim dioxide films with electric and photo-electrical characteristics of TiO[2]-Si structures | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Аннотация | Исследовано влияние термического отжига в аргоне и воздействие кислородной плазмы на вольт-амперные характеристики и фотоотклик структур TiO[2]-Si. Пленки оксида титана получали ВЧ магнетронным напылением на подложках n-Si. Наблюдаемые особенности поведения электрических и фотоэлектрических характеристик образцов после отжига и обработки в кислородной плазме связаны с изменением фазового состава оксидной пленки за счет появления кристаллитов анатаза или рутила в зависимости от условий обработки. |
| Ключевые слова | оксид титана |
|
пленки оксида титана металл-оксидные соединения кристаллиты рутила кислородная плазма ВЧ-магнетронное напыление кремниевые пластины полупроводники |
|
|
Егорова, И. М. Новиков, В. А. Прудаев, И. А. Толбанов, О. П. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 9. - С. 1178-1184 |
|
| Имя макрообъекта | Калыгина_связь |
| Тип документа | b |
