| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671644750 |
| Дата корректировки | 16:31:41 13 апреля 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2020.03.49008.611 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Афанасьев, М. С. | |
|
Создание и исследования структур металл-диэлектрик-полупроводник на основе сегнетоэлектрических пленок Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
| Аннотация | В работе исследуется влияние температуры синтеза на микроструктуру и электрофизические свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник на основе сегнетоэлектрических пленок состава Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] при формировании на кремниевые подложки p-типа с ориентацией [100]. Экспериментально установлено, что увеличение температуры синтеза приводит к улучшению диэлектрических и пьезоэлектрических свойств сегнетоэлектрических пленок. Показана температурная стабильность и устойчивость в поведении вольтфарадных характеристик МДП-структур от числа циклов переключения. |
| Ключевые слова | структуры металл-диэлектрик-полупроводник |
|
сегнетоэлектрические пленки тонкие пленки титанат бария-стронция микроструктура пленок электрофизические свойства пленок |
|
| Другие авторы | Киселев, Д. А. |
|
Левашов, С. А. Сивов, А. А. Чучева, Г. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 3. - С. 422-426 |
| Имя макрообъекта | Афанасьев_создание |
| Тип документа | b |
