Индекс УДК | 621.315.592 |
Влияние поверхности многокомпонентной матрицы InAsSbP на формирование квантовых точек InSb при наращивании методом МОГФЭ Электронный ресурс |
|
Аннотация | Квантовые точки (7-9) · 10{9} см{-2} InSb были получены на подложке InAs(001) методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений при температуре T = 440°С. Эпитаксиальное осаждение происходило одновременно на бинарную матрицу InAs и матричный слой четверного твердого раствора InAsSbP, изопериодного по параметру решетки с подложкой InAs. Трансформация формы и размеров квантовых точек InSb наблюдалась в зависимости от химического состава рабочей поверхности матрицы, на которую происходило наращивание. Использование многокомпонентного матричного слоя дает возможность управлять параметром постоянной решетки матрицы и деформацией системы при образовании самообразующихся квантовых точек. |
Ключевые слова | квантовые точки |
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 7. - С. 927-931 |
|
Имя макрообъекта | Романов_влияние |