Поиск

Хлоридная эпитаксия слоев бета-Ga[2]O[3] на сапфировых подложках базисной ориентации

Авторы: Николаев, В. И. Степанов, С. И. Шарофидинов, Ш. Ш. Головатенко, А. А. Никитина, И. П. Смирнов, А. Н. Бугров, В. Е. Романов, А. Е. Брунков, П. Н. Кириленко, Д. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Автор Николаев, В. И.
Хлоридная эпитаксия слоев бета-Ga[2]O[3] на сапфировых подложках базисной ориентации
Электронный ресурс
Ключевые слова хлоридная эпитаксия
Другие авторы Печников, А. И.
Физика и техника полупроводников
2016
Т. 50, вып. 7. - С. 997-1000
Имя макрообъекта Николаев_хлоридная