Индекс УДК | 621.315.592 |
Автор | Николаев, В. И. |
Хлоридная эпитаксия слоев бета-Ga[2]O[3] на сапфировых подложках базисной ориентации Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | хлоридная эпитаксия |
Другие авторы | Печников, А. И. |
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 7. - С. 997-1000 |
|
Имя макрообъекта | Николаев_хлоридная |