| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671536497 |
| Дата корректировки | 10:05:28 12 апреля 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Марков, Л. К. | |
|
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления Электронный ресурс |
|
| A technique to obtain ITO films with the controlled refractive index | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Предложен способ создания прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия и олова с контролируемым значением показателя преломления. Способ заключается в последовательном нанесении материала методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления. Разная плотность получаемых покрытий и соответственно различные значения их показателя преломления достигаются варьированием соотношения массовых долей вещества, наносимого разными методами. Вкаче стве примера продемонстрировано получение пленок с эффективными значениями показателя преломления 1.2, 1.4, 1.7 в диапазоне длин волн 440-460 нм. На основе предложенного метода также созданы двухслойные покрытия ITO с контролируемым значением показателя преломления входящих в них слоев, что открывает возможность получения многослойных прозрачных проводящих покрытий с требуемыми оптическими свойствами. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
|
электронно-лучевое испарение магнетронное распыление показатель преломления оксид индия-олова полупроводниковые материалы |
|
|
Смирнова, И. П. Павлюченко, А. С. Кукушкин, М. В. Закгейм, Д. А. Павлов, С. И. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 7. - С. 1001-1006 |
| Имя макрообъекта | Марков_способ |
| Тип документа | b |
