Поиск

Оптические свойства p-i-n-структур на основе аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллами кремния, сформированными с применением наносекундных лазерных отжигов

Авторы: Кривякин, Г. К. Володин, В. А. Кочубей, С. А. Камаев, Г. Н. Purkrt, A. Remeso, Z. Fajgar, R. Stuchlikova, T. H. Stuchliko, J.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/671216216
Дата корректировки 17:11:13 8 апреля 2021 г.
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Кривякин, Г. К.
Оптические свойства p-i-n-структур на основе аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллами кремния, сформированными с применением наносекундных лазерных отжигов
Электронный ресурс
Optical properties of a-Si :H based p-i-n-structures with Si nanocrystals formed in i-layers using nanosecond pulse laser annealing
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 28 назв.
Аннотация C применением импульсных лазерных отжигов в i-слоях p-i-n-структур на основе a-Si : H были сформированы нанокристаллы Si. Для импульсных воздействий применялся эксимерный лазер XeCl с длиной волны 308 нм, с длительностью импульса 15 нс. Плотность энергии лазерного излучения изменялась в пределах от 100 мДж/см{2} (ниже порога плавления) до 250 мДж/см{2} (выше порога плавления). Оценка размеров нанокристаллов проводилась из анализа спектров комбинационного рассеяния света с использованием модели локализации фононов, средний размер составил от 2.5 до 3.5 нм в зависимости от параметров лазерных воздействий. Созданные p-i-n-структуры обладали диодными ВАХ. Обнаружен сигнал электролюминесценции в ИК-диапазоне от p-i-n-структур с нанокристаллами Si, положение пика (0.9-1 эВ) варьировалось с параметрами лазерных воздействий. Излучательные переходы связаны, предположительно, с состояниями на границе нанокристалл/аморфная матрица. Предложенный подход может быть использован для создания светоизлучающих диодов на нетугоплавких подложках.
Ключевые слова гидрогенизированный кремний
кремний
нанокристаллы кремния
импульсные лазерные отжиги
светоизлучающие диоды
светодиоды
электролюминесценция
Володин, В. А.
Кочубей, С. А.
Камаев, Г. Н.
Purkrt, A.
Remeso, Z.
Fajgar, R.
Stuchlikova, T. H.
Stuchliko, J.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 7. - С. 952-957
Имя макрообъекта Кривякин_оптические
Тип документа b