Поиск

Атомные ступени на ультраплоской поверхности Si(111) при сублимации

Авторы: Ситников, С. В. Латышев, А. В. Косолобов, С. С.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Атомные ступени на ультраплоской поверхности Si(111) при сублимации
Электронный ресурс
Ключевые слова сублимация
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 5. - С. 607-611
Имя макрообъекта Ситников_атомные