Индекс УДК | 539.21 |
Особенности формирования эпитаксиальных слоев InAsSbP на подложке InAs методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | эпитаксиальные слои |
Другие авторы | Романов, В. В. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 58, вып. 11. - С. 2203-2207 |
Имя макрообъекта | Моисеев_особенности |