| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Автор | Гук, И. В. |
|
Роль эффекта накопления тепла в многоимпульсных режимах лазерной фемтосекундной структуризации кремния Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | лазерная фемтосекундная структуризация |
| Другие авторы | Шандыбина, Г. Д. |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 5. - С. 706-710 |
| Имя макрообъекта | Гук_роль |
