Индекс УДК | 621.315.592 |
Специфика туннелирования носителей между валентной зоной кремния и металлом в приборах на основе структуры Al/high-K-oxide/SiO[2]/Si Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | туннелирование электронов |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 5. - С. 683-688 |
Имя макрообъекта | Векслер_специфика |