| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/670676879 |
| Дата корректировки | 11:18:22 2 апреля 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Авилов, В. И. | |
|
Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана Электронный ресурс |
|
| Study of nanosized structures phase composition, obtained by local anodic oxidation of titanium films | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 10 назв. |
| Аннотация | Представлены результаты экспериментальных исследований фазового состава оксидных наноразмерных структур, сформированных методом локального анодного окисления тонкой пленки титана. Результаты фазового анализа оксидных наноразмерных структур титана получены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии в режиме ионного профилирования. Установлено, что поверхность оксидных наноразмерных структур титана высотой 4.5 ± 0.2 нм характеризуются энергией связи остовных уровней, характерных для TiO[2] (458.4 эВ). При анализе оксидных наноразмерных структур титана по глубине методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено формирование фаз с энергией связи остовных уровней, характерных для Ti[2]O[3](456.6 эВ) и TiO (454.8 эВ). Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления перспективной электронной компонентной базы наноэлектроники на основе оксидных наноразмерных структур титана с использованием зондовых нанотехнологий. |
| Служебное примечание | Коноплёв, Б. Г. |
| Ключевые слова | наноразмерные структуры |
|
локальное анодное окисление пленки титана титан оксид титана рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия спектроскопия оксидные наноразмерные структуры полупроводниковые приборы |
|
|
Агеев, O. А. Коноплев, Б. Г. Смирнов, В. А. Солодовник, М. С. Цуканова, О. Г. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 5. - С. 549-552 |
| Имя макрообъекта | Авилов_исследование |
| Тип документа | b |
