| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Представлены результаты экспериментальных исследований фазового состава оксидных наноразмерных структур, сформированных методом локального анодного окисления тонкой пленки титана. Результаты фазового анализа оксидных наноразмерных структур титана получены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии в режиме ионного профилирования. Установлено, что поверхность оксидных наноразмерных структур титана высотой 4.5 ± 0.2 нм характеризуются энергией связи остовных уровней, характерных для TiO[2] (458.4 эВ). При анализе оксидных наноразмерных структур титана по глубине методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено формирование фаз с энергией связи остовных уровней, характерных для Ti[2]O[3](456.6 эВ) и TiO (454.8 эВ). Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления перспективной электронной компонентной базы наноэлектроники на основе оксидных наноразмерных структур титана с использованием зондовых нанотехнологий. |
| Ключевые слова | наноразмерные структуры |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 5. - С. 549-552 |
| Имя макрообъекта | Авилов_исследование |
