| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/670514952 |
| Дата корректировки | 16:30:06 31 марта 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Яковлев, Г. Е. | |
|
Исследование ионно-имплантированных фоточувствительных кремниевых структур методом электрохимического вольт-фарадного профилирования Электронный ресурс |
|
| Investigation of ion-implanted photosensitive silicon structures by means of electhochemical capacitance-voltage profiling | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
| Аннотация | Методом электрохимического вольт-фарадного профилирования исследованы имплантированные бором кремниевые структуры для ПЗС-матриц с обратной засветкой. Исследовалась серия специально подготовленных структур с различными энергией и дозой имплантации, а также с покровными слоями из алюминия, оксида кремния и их комбинации. Экспериментально получены профили распределения основных носителей заряда по глубине исследуемых структур. Также с использованием уравнения Пуассона и уравнения Фредгольма первого рода проведен расчет распределения концентрации носителей заряда и напряженности электрического поля в структурах. На основе анализа и сопоставления теоретических и экспериментальных концентрационных профилей предложены рекомендации по оптимизации параметров структур для увеличения значения тянущего поля и уменьшения влияния поверхностного потенциала на транспорт носителей заряда. |
| Ключевые слова | электрохимическое вольт-фарадное профилирование |
|
кремниевые структуры алюминий оксид кремния фотонно-чувствительные приборы электронно-чувствительные приборы эпитаксиальные слои ионное легирование электролиты ионная имплантация полупроводниковые приборы |
|
|
Фролов, Д. С. Зубкова, А. В. Левина, Е. Е. Зубков, В. И. Соломонов, А. В. Стерлядкин, О. К. Сорокин, С. А. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 3. - С. 324-330 |
| Имя макрообъекта | Яковлев_исследование |
| Тип документа | b |
