-
Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси
Фролов, Д. С., Яковлев, Г. Е., Зубков, В. И.
Техника электрохимического вольт-фарадного профилирования сильно легированных структур с резким профилем распределения примеси, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2019, Т. 53, вып. 2. - С. 281-286
Фролов_техника
-
Исследование ионно-имплантированных фоточувствительных кремниевых структур методом электрохимического вольт-фарадного профилирования
Яковлев, Г. Е., Фролов, Д. С., Зубкова, А. В., Левина, Е. Е. , Зубков, В. И., Соломонов, А. В., Стерлядкин, О. К., Сорокин, С. А.
Исследование ионно-имплантированных фоточувствительных кремниевых структур методом электрохимического вольт-фарадного профилирования, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 3. - С. 324-330 .-
Яковлев_исследование
-
Особенности электрохимического вольт-фарадного профилирования арсенид-галлиевых светоизлучающих и pHEMT-структур с квантово-размерными областями
Яковлев, Г. Е., Дорохин, М. В., Зубков, В. И., Дудин, А. Л., Здоровейщев, А. В. , Малышева, Е. И., Данилов, Ю. А., Звонков, Б. Н. , Кудрин, А. В.
Особенности электрохимического вольт-фарадного профилирования арсенид-галлиевых светоизлучающих и pHEMT-структур с квантово-размерными областями, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 8. - С. 873-880
Яковлев_особенности
