Поиск

Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных скандием и полученных методом лазерного осаждения

Авторы: Босак, Н. А. Чумаков, А. Н. Шевченок, А. А. Баран, Л. В. Кароза, А. Г. Малютина-Бронская, В. В. Райченок, Т. Ф. Сугак, М. Г.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps20_to87_no5_ss763_ad1
Дата корректировки 13:04:01 30 марта 2021 г.
Кодируемые данные 210312s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps20_to87_no5_ss763_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.33
Индекс ББК 22.344
Таблицы для массовых библиотек
Босак, Н. А.
070
Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных скандием и полученных методом лазерного осаждения
Н. А. Босак, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок [и др.]
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 769 (23 назв. )
Аннотация Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10-15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны лямбда = 1. 064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см[2] на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 * 10{-2} мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0. 9%Sc[2]O[3]/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками.
Физика
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Ключевые слова высокочастотное лазерное воздействие
лазерное осаждение
легирование
легированный скандием оксидом цинка
люминесценция
оксид цинка
спектры пропускания
структура тонких пленок
электрофизические характеристики
Чумаков, А. Н.
070
Шевченок, А. А.
070
Баран, Л. В.
070
Кароза, А. Г.
070
Малютина-Бронская, В. В.
070
Райченок, Т. Ф.
070
Сугак, М. Г.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 5. - С. 763-769
RU
43013090
20210312
RCR
RU
43013090
20210312
RU
AR-MARS
20210312
RCR
RU
AR-MARS
20210312
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2020
87
5
763
1
718