Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | zhps20_to87_no5_ss763_ad1 |
Дата корректировки | 13:04:01 30 марта 2021 г. |
Кодируемые данные | 210312s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
Системный контрольный номер | RUMARS-zhps20_to87_no5_ss763_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
rus rus |
Индекс УДК | 535.33 |
Индекс ББК | 22.344 |
Таблицы для массовых библиотек | |
Босак, Н. А. 070 |
|
Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных скандием и полученных методом лазерного осаждения Н. А. Босак, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок [и др.] |
|
Текст | |
непосредственный | |
Библиография | Библиогр.: с. 769 (23 назв. ) |
Аннотация | Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10-15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны лямбда = 1. 064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см[2] на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 * 10{-2} мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0. 9%Sc[2]O[3]/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками. |
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
Ключевые слова |
высокочастотное лазерное воздействие лазерное осаждение легирование легированный скандием оксидом цинка люминесценция оксид цинка спектры пропускания структура тонких пленок электрофизические характеристики |
Чумаков, А. Н. 070 Шевченок, А. А. 070 Баран, Л. В. 070 Кароза, А. Г. 070 Малютина-Бронская, В. В. 070 Райченок, Т. Ф. 070 Сугак, М. Г. 070 |
|
ISSN | 0514-7506 |
Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 87, № 5. - С. 763-769 |
RU 43013090 20210312 RCR |
|
RU 43013090 20210312 |
|
RU AR-MARS 20210312 RCR |
|
RU AR-MARS 20210312 |
|
Тип документа | b |
code year to no ss ad |
|
zhps 2020 87 5 763 1 |
|
718 |