| Индекс УДК | 535.33 |
|
Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных скандием и полученных методом лазерного осаждения Н. А. Босак, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок [и др.] |
|
| Аннотация | Методом высокочастотного импульсно-периодического (f ~ 10-15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны лямбда = 1. 064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см[2] на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2 * 10{-2} мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Полученные при возбуждении разными длинами волн спектры люминесценции практически не изменяются. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+0. 9%Sc[2]O[3]/Si. Установлено, что основным механизмом проводимости является ток, ограниченный пространственным зарядом в пленке оксида с глубокими ловушками. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 87, № 5. - С. 763-769 |
