Поиск

improved target method to quantitatively measure the lateral resolution of the confocal Raman microscope

Авторы: Ding, X. Fu, Y. Li, F. Zhang, J. Liu, W.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps20_to87_no6_ss977_ad1
Дата корректировки 13:01:48 30 марта 2021 г.
Кодируемые данные 210322s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps20_to87_no6_ss977_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания eng
eng
Индекс УДК 535.33
Индекс ББК 22.344
Таблицы для массовых библиотек
Ding, X.
070
An improved target method to quantitatively measure the lateral resolution of the confocal Raman microscope
X. Ding, Y. Fu, F. Li [et al.]
Метод количественного измерения латерального разрешения конфокального КР-микроскопа
rus
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 983 (16 назв. )
Аннотация Предложен метод проверки латерального разрешения конфокального КР-микроскопа (CRM) на основе калибровочной таблицы разрешения. Мишень для тестового изображения состояла из полированной кремниевой подложки, покрытой тонким металлическим рисунком, который обеспечивал высокий контраст и незначительные краевые эффекты. Использование мишени с одним стержнем вместо обычной мишени с тремя стержнями позволило количественно измерить латеральное разрешение CRM. Одностержневые мишени различной ширины использовались для тестирования CRM с номинальным поперечным разрешением ~1 мкм. С помощью теоретической модели изучен отклик CRM на мишень из одного стержня и исследована взаимосвязь между контрастом Майкельсона функции отклика и латеральным разрешением. Предлагаемый метод проверки латерального разрешения имеет относительную повторяемость 5. 6 %, что идеально для контроля разрешения. Экспериментальные результаты демонстрируют отличное согласие с результатами моделирования и подтверждают, что метод одностержневой мишени позволяет измерять латеральное разрешение CRM с высокой точностью, эффективностью и воспроизводимостью.
Физика
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Ключевые слова контрольная цель
конфокальный КР-микроскоп
КР-визуализация
латеральное разрешение
Ферми функция
функция Ферми
Fu, Y.
070
Li, F.
070
Zhang, J.
070
Liu, W.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 6. - С. 977-983
RU
43013090
20210322
RCR
RU
43013090
20210322
RU
AR-MARS
20210322
RCR
RU
AR-MARS
20210322
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2020
87
6
977
1
718