Маркер записи | n 22 3 4500 |
Контрольный номер | zhps20_to87_no6_ss977_ad1 |
Дата корректировки | 13:01:48 30 марта 2021 г. |
Кодируемые данные | 210322s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
Системный контрольный номер | RUMARS-zhps20_to87_no6_ss977_ad1 |
AR-MARS | |
Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
Код языка каталог. | rus |
Код языка издания |
eng eng |
Индекс УДК | 535.33 |
Индекс ББК | 22.344 |
Таблицы для массовых библиотек | |
Ding, X. 070 |
|
An improved target method to quantitatively measure the lateral resolution of the confocal Raman microscope X. Ding, Y. Fu, F. Li [et al.] |
|
Метод количественного измерения латерального разрешения конфокального КР-микроскопа rus |
|
Текст | |
непосредственный | |
Библиография | Библиогр.: с. 983 (16 назв. ) |
Аннотация | Предложен метод проверки латерального разрешения конфокального КР-микроскопа (CRM) на основе калибровочной таблицы разрешения. Мишень для тестового изображения состояла из полированной кремниевой подложки, покрытой тонким металлическим рисунком, который обеспечивал высокий контраст и незначительные краевые эффекты. Использование мишени с одним стержнем вместо обычной мишени с тремя стержнями позволило количественно измерить латеральное разрешение CRM. Одностержневые мишени различной ширины использовались для тестирования CRM с номинальным поперечным разрешением ~1 мкм. С помощью теоретической модели изучен отклик CRM на мишень из одного стержня и исследована взаимосвязь между контрастом Майкельсона функции отклика и латеральным разрешением. Предлагаемый метод проверки латерального разрешения имеет относительную повторяемость 5. 6 %, что идеально для контроля разрешения. Экспериментальные результаты демонстрируют отличное согласие с результатами моделирования и подтверждают, что метод одностержневой мишени позволяет измерять латеральное разрешение CRM с высокой точностью, эффективностью и воспроизводимостью. |
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
Ключевые слова |
контрольная цель конфокальный КР-микроскоп КР-визуализация латеральное разрешение Ферми функция функция Ферми |
Fu, Y. 070 Li, F. 070 Zhang, J. 070 Liu, W. 070 |
|
ISSN | 0514-7506 |
Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
Место и дата издания | 2020 |
Прочая информация | Т. 87, № 6. - С. 977-983 |
RU 43013090 20210322 RCR |
|
RU 43013090 20210322 |
|
RU AR-MARS 20210322 RCR |
|
RU AR-MARS 20210322 |
|
Тип документа | b |
code year to no ss ad |
|
zhps 2020 87 6 977 1 |
|
718 |