|
Аннотация
|
Предложен метод проверки латерального разрешения конфокального КР-микроскопа (CRM) на основе калибровочной таблицы разрешения. Мишень для тестового изображения состояла из полированной кремниевой подложки, покрытой тонким металлическим рисунком, который обеспечивал высокий контраст и незначительные краевые эффекты. Использование мишени с одним стержнем вместо обычной мишени с тремя стержнями позволило количественно измерить латеральное разрешение CRM. Одностержневые мишени различной ширины использовались для тестирования CRM с номинальным поперечным разрешением ~1 мкм. С помощью теоретической модели изучен отклик CRM на мишень из одного стержня и исследована взаимосвязь между контрастом Майкельсона функции отклика и латеральным разрешением. Предлагаемый метод проверки латерального разрешения имеет относительную повторяемость 5. 6 %, что идеально для контроля разрешения. Экспериментальные результаты демонстрируют отличное согласие с результатами моделирования и подтверждают, что метод одностержневой мишени позволяет измерять латеральное разрешение CRM с высокой точностью, эффективностью и воспроизводимостью. |
