| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/670066123 |
| Дата корректировки | 9:40:33 26 марта 2021 г. |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Иванова, Е. В. | |
|
Трансформация точечных дефектов в диоксиде кремния в процессе отжига Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Ранее авторами было показано, что отжиг диоксида кремния в бескислородной среде приводит к образованию кластеров кремния вблизи поверхности. Механизм формирования кластеров кремния таким способом изучен недостаточно, однако установлено, что скорость образования нанокластеров и их размер зависят от содержания точечных дефектов в диоксиде кремния и содержания примесей, например гидроксильных групп. В продолжение этих исследований изучено изменение содержания точечных дефектов в пленках диоксида кремния в процессе отжига. Для оценки изменения содержания точечных дефектов до и после отжига предложена новая методика. Предложена модель трансформации точечных дефектов в диоксиде кремния в нанокластеры кремния в результате высокотемпературного отжига. |
| Ключевые слова | диоксид кремния |
|
пленки диоксида кремния точечные дефекты отжиг высокотемпературный отжиг |
|
| Другие авторы | Заморянская, М. В. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 58, вып. 10. - С. 1895-1898 |
| Имя макрообъекта | Иванова_трансформация |
| Тип документа | b |
