Индекс УДК | 539.21 |
Трансформация точечных дефектов в диоксиде кремния в процессе отжига Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | диоксид кремния |
Другие авторы | Заморянская, М. В. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 58, вып. 10. - С. 1895-1898 |
Имя макрообъекта | Иванова_трансформация |