Поиск

Трансформация точечных дефектов в диоксиде кремния в процессе отжига

Авторы: Иванова, Е. В. Заморянская, М. В.
Подробная информация
Индекс УДК 539.21
Трансформация точечных дефектов в диоксиде кремния в процессе отжига
Электронный ресурс
Ключевые слова диоксид кремния
Другие авторы Заморянская, М. В.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 58, вып. 10. - С. 1895-1898
Имя макрообъекта Иванова_трансформация