Поиск

Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова

Авторы: Рябцев, С. В. Чувенкова, О. А. Канныкин, С. В. Попов, А. Е. Рябцева, Н. С. Воищев, С. С. Турищев, С. Ю. Домашевская, Э. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/669825246
Дата корректировки 14:48:01 23 марта 2021 г.
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Рябцев, С. В.
Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова
Электронный ресурс
Electrophysical and optical properties of oxide nanolayers obtained by thermal oxidation of metallic tin
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 20 назв.
Аннотация Тонкие слои SnO[2-x] толщиной 30 нм были изготовлены методом термического окисления нанослоев металлического олова при температуре 450-750°C. Изучены их электрофизические и оптические свойства. В процессе термического окисления нанослоев олова обнаружено немонотонное изменение их электропроводности. Для оксидных пленок, полученных при 450 и 550°C, в оптических спектрах обнаружена полоса поглощения при 340 нм (3.65 эВ). Определена энергия активации электропроводности образцов с различной степеньюо кисления. На основании полученных экспериментальных и литературных данных предложен механизм окисления нанослоев олова, определяющий их свойства.
Ключевые слова оксидные нанослои
металлическое олово
тонкие слои
термическое окисление
оксидные пленки
прямозонные полупроводники
полупроводники
оксид олова
окисление нанослоев олова
Чувенкова, О. А.
Канныкин, С. В.
Попов, А. Е.
Рябцева, Н. С.
Воищев, С. С.
Турищев, С. Ю.
Домашевская, Э. П.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 2. - С. 180-184
Имя макрообъекта Рябцев_электрофизические
Тип документа b