| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Электрофизические и оптические свойства оксидных нанослоев, полученных термическим окислением металлического олова Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Тонкие слои SnO[2-x] толщиной 30 нм были изготовлены методом термического окисления нанослоев металлического олова при температуре 450-750°C. Изучены их электрофизические и оптические свойства. В процессе термического окисления нанослоев олова обнаружено немонотонное изменение их электропроводности. Для оксидных пленок, полученных при 450 и 550°C, в оптических спектрах обнаружена полоса поглощения при 340 нм (3.65 эВ). Определена энергия активации электропроводности образцов с различной степеньюо кисления. На основании полученных экспериментальных и литературных данных предложен механизм окисления нанослоев олова, определяющий их свойства. |
| Ключевые слова | оксидные нанослои |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 2. - С. 180-184 |
| Имя макрообъекта | Рябцев_электрофизические |
