Поиск

Особенности роста InN методом МПЭ с плазменной активацией азота при различных соотношениях потоков элементов III и V групп

Авторы: Лобанов, Д. Н. Новиков, А. В. Андреев, Б. А. Бушуйкин, П. А. Юнин, П. А. Скороходов, Е. В. Красильникова, Л. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/669724009
Дата корректировки 10:41:25 22 марта 2021 г.
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Лобанов, Д. Н.
Особенности роста InN методом МПЭ с плазменной активацией азота при различных соотношениях потоков элементов III и V групп
Электронный ресурс
Features of InN growth by plasma-assisted MBE at different ratio of III to V group element flows
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 18 назв.
Аннотация Представлены результаты исследований влияния соотношения потоков элементов III и V групп на структурные и оптические свойства формируемой методом МПЭ ПА пленки InN. Было показано, что при соотношении потоков III/V < 0.6 слой InN состоит из отдельно стоящих наноколонн. В диапазоне соотношений 0.6 < III/V < 0.9 рост InN становится двумерным, однако слой InN обладает нанопористой структурой. При переходе к металлобогащенным условиям роста (III/V ~ 1.1) слой InN становится сплошным. Переход от трехмерного роста к двумерному сопровождается увеличением плотности прорастающих дислокаций. Это приводит к снижению интенсивности сигнала фотолюминесценции InN при комнатной температуре. Концентрация электронов в слоях InN составила ~ 5 · 10{18} см{-3}, что приводит к сдвигу максимума сигнала ФЛ в область длин волн 1.73-1.8 мкм и сдвигу края поглощения в область ~ 1.65 мкм.
индий
азот
плазменная активация азота
дислокации
фотолюминесценция
спектроскопия пропускания света
люминесценция
полупроводники
Новиков, А. В.
Андреев, Б. А.
Бушуйкин, П. А.
Юнин, П. А.
Скороходов, Е. В.
Красильникова, Л. В.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2016
Прочая информация Т. 50, вып. 2. - С. 264-268
Имя макрообъекта Лобанов_особенности
Тип документа b