| Индекс УДК | 621.315.592.9 |
|
Формирование структур графит/SiC методом термического разложения карбида кремния Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | карбид кремния |
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 1. - С. 138-142 |
|
| Имя макрообъекта | Мынбаева_формирование |
