Индекс УДК | 621.382 |
Особенности вольт-амперных характеристик МДП-структур SiO[2]/4H-SiC c имплантированным в карбид кремния фосфором Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | карбид кремния |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 1. - С. 103-105 |
Имя макрообъекта | Михайлов_особенности |