| Индекс УДК | 621.315.592:539.2 |
|
Оценка стойкости к диффузионной деструкции наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур методом ИК-спектральной эллипсометрии Электронный ресурс |
|
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 1. - С. 83-88 |
|
| Имя макрообъекта | Макеев_оценка |
