| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | ivch20_to63_vy7_ss26_ad1 |
| Дата корректировки | 10:57:07 30 октября 2020 г. |
| Кодируемые данные | 201005s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-ivch20_to63_vy7_ss26_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
БУК Омская государственная областная научная библиотека им. А.С. Пушкина МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 66 |
| Индекс ББК | 35 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Ганц, О. Ю. Оксана Юрьевна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 |
|
|
Синтез оксида рутения (IV) на тантале методом атомно-слоевого осаждения О. Ю. Ганц, А. Д. Юдина, В. О. Жирнова [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 29-30 (22 назв.) |
| Аннотация | Цель работы - разработка подхода к синтезу оксида рутения на танталовой подложке методом АСО на установке TFS 200 Beneg. В качестве прекурсоров были использованы бис (этилциклопентадиенил) рутений и кислород. В исследовании определена средняя скорость роста пленки за один цикл. Установлено, что время взаимодействия кислорода с прекурсором является определяющим обстоятельством при формировании пленки из диоксида рутения. |
|
Химическая технология AR-MARS Общие вопросы химической технологии AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
атомно-слоевое осаждение оксиды рутения синтез оксида рутения тонкие пленки тантал наноразмерные пленки методики синтеза кислород прекурсоры |
|
Юдина, А. Д. Ангелина Дмитриевна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 Жирнова, В. О. Валентина Олеговна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 Тимонина, А. С. Анна Сергеевна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 Люкшина, Ю. И. Юлия Игоревна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 Ахматова, А. А. Анна Александровна Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н. П. Огарева 070 |
|
| ISSN | 0579-2991 |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 63, вып. 7. - С. 26-30 |
|
RU 64417093 20201005 RCR |
|
|
RU 64417093 20201005 |
|
|
RU AR-MARS 20201005 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20201005 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
ivch 2020 63 7 26 1 |
|
| 421 | |
| Химическая технология |
