| Индекс УДК | 66 |
|
Синтез оксида рутения (IV) на тантале методом атомно-слоевого осаждения О. Ю. Ганц, А. Д. Юдина, В. О. Жирнова [и др.] |
|
| Аннотация | Цель работы - разработка подхода к синтезу оксида рутения на танталовой подложке методом АСО на установке TFS 200 Beneg. В качестве прекурсоров были использованы бис (этилциклопентадиенил) рутений и кислород. В исследовании определена средняя скорость роста пленки за один цикл. Установлено, что время взаимодействия кислорода с прекурсором является определяющим обстоятельством при формировании пленки из диоксида рутения. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 63, вып. 7. - С. 26-30 |
