| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | stik20_no9_ss3_ad1 |
| Дата корректировки | 10:55:21 27 мая 2025 г. |
| Кодируемые данные | 200924s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-stik20_no9_ss3_ad1 |
| AR-MARS | |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 666.22 |
| Индекс ББК | 35.42 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
| 61.35.29 | |
|
Пауткин, В. Е. Научно-исследовательский институт физических измерений, Пенза (Россия) 070 |
|
|
Физико-химические процессы в щелочном стекле при анодном соединении стекла и кремния В. Е. Пауткин |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 6 (8 назв.) |
| Аннотация | Рассмотрены физико-химические процессы, происходящие в структуре щелочного стекла и на границе раздела кремний-стекло при анодном соединении стеклянных и кремниевых пластин. соединение данных материалов в настоящее время широко используется в промышленности при создании чувствительных элементов микромеханических датчиков, таких как датчики давления, ускорения и пр. Показано, что для получения качественного соединения возможно варьирование как параметрами технологического процесса, так и конструктивными особенностями соединяемых деталей. |
|
Химическая технология AR-MARS Керамические изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
анодные соединения микромеханические датчики стеклянные пластины щелочные стекла |
| ISSN | 0131-9582 |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | № 9. - С. 3-6 |
|
RU 45642206 20200924 RCR |
|
|
RU 45642206 20200924 |
|
|
RU AR-MARS 20201002 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20201002 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
stik 2020 9 3 1 |
|
| 965 |
