Поиск

Физико-химические процессы в щелочном стекле при анодном соединении стекла и кремния

Авторы: Пауткин, В. Е.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер stik20_no9_ss3_ad1
Дата корректировки 10:55:21 27 мая 2025 г.
Кодируемые данные 200924s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-stik20_no9_ss3_ad1
AR-MARS
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
Индекс УДК 666.22
Индекс ББК 35.42
Таблицы для массовых библиотек
61.35.29
Пауткин, В. Е.
Научно-исследовательский институт физических измерений, Пенза (Россия)
070
Физико-химические процессы в щелочном стекле при анодном соединении стекла и кремния
В. Е. Пауткин
Иллюстрации/ тип воспроизводства 3 рис.
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 6 (8 назв.)
Аннотация Рассмотрены физико-химические процессы, происходящие в структуре щелочного стекла и на границе раздела кремний-стекло при анодном соединении стеклянных и кремниевых пластин. соединение данных материалов в настоящее время широко используется в промышленности при создании чувствительных элементов микромеханических датчиков, таких как датчики давления, ускорения и пр. Показано, что для получения качественного соединения возможно варьирование как параметрами технологического процесса, так и конструктивными особенностями соединяемых деталей.
Химическая технология
AR-MARS
Керамические изделия
AR-MARS
Ключевые слова анодные соединения
микромеханические датчики
стеклянные пластины
щелочные стекла
ISSN 0131-9582
Название источника Стекло и керамика
Место и дата издания 2020
Прочая информация № 9. - С. 3-6
RU
45642206
20200924
RCR
RU
45642206
20200924
RU
AR-MARS
20201002
RCR
RU
AR-MARS
20201002
Тип документа b
code
year
no
ss
ad
stik
2020
9
3
1
965