| Индекс УДК | 666.22 |
|
Физико-химические процессы в щелочном стекле при анодном соединении стекла и кремния В. Е. Пауткин |
|
| Аннотация | Рассмотрены физико-химические процессы, происходящие в структуре щелочного стекла и на границе раздела кремний-стекло при анодном соединении стеклянных и кремниевых пластин. соединение данных материалов в настоящее время широко используется в промышленности при создании чувствительных элементов микромеханических датчиков, таких как датчики давления, ускорения и пр. Показано, что для получения качественного соединения возможно варьирование как параметрами технологического процесса, так и конструктивными особенностями соединяемых деталей. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | № 9. - С. 3-6 |
