Поиск

Определение оптических характеристик плоскопараллельных кварцевых пластин при углах Брюстера методом спектральной эллипсометрии

Авторы: Стаськов, Н. И. Мухаммедмурадов, А. А. Крекотень, Н. А. Парашков, С. О.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер zhps20_to87_no1_ss122_ad1
Дата корректировки 14:45:31 27 июля 2020 г.
Кодируемые данные 200629s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0|
Системный контрольный номер RUMARS-zhps20_to87_no1_ss122_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.33
535.31
Индекс ББК 22.344
22.342
Таблицы для массовых библиотек
Таблицы для массовых библиотек
Стаськов, Н. И.
070
Определение оптических характеристик плоскопараллельных кварцевых пластин при углах Брюстера методом спектральной эллипсометрии
Н. И. Стаськов, А. А. Мухаммедмурадов, Н. А. Крекотень, С. О. Парашков
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 129
Аннотация Предложен способ определения оптических характеристик стеклянных пластин после физико-химической обработки поверхностей, основанный на измерении спектральных зависимостей эллипсометрических углов при углах падения, равных углу Брюстера. Установлено, что по координатам минимумов на спектральных зависимостях эллипсометрических углов можно определить дисперсионную зависимость показателя преломления и оценить толщину поверхностных слоев в процессе изготовления пластин. Рассчитанные по формуле Брюстера спектральные зависимости показателей преломления пластин из оптического кварца КУ-1 в области отсутствия поглощения удовлетворительно согласуются со спектральными зависимостями, которые определяются известными численными методами с использованием программного обеспечения DeltaPsi2 спектрального эллипсометра UVISEL 2 (Horiba). Относительная погрешность определения показателей преломления кварцевых пластин предложенным способом <0. 1 %.
Физика
AR-MARS
Спектроскопия
AR-MARS
Геометрическая оптика. Оптические приборы
AR-MARS
Ключевые слова Брюстера закон
Зельмейера формула
Лорентца формула
закон Брюстера
метод спектральной эллипсометрии
плоскопараллельные кварцевые пластины
поверхностные слои
спектральная зависимость показателя преломления
спектральная эллипсометрия
физико-химическая обработка поверхностей
формула Зельмейера
формула Лорентца
эллипсометрические углы
Мухаммедмурадов, А. А.
070
Крекотень, Н. А.
070
Парашков, С. О.
070
ISSN 0514-7506
Название источника Журнал прикладной спектроскопии
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 87, № 1. - С. 122-129
RU
43013090
20200629
RCR
RU
43013090
20200629
RU
AR-MARS
20200629
RCR
RU
AR-MARS
20200629
Тип документа b
code
year
to
no
ss
ad
zhps
2020
87
1
122
1
718